「优傲机器人」UR机器人在晶圆搬运中的应用

行业背景

目前协作机器人的主要应用行业是消费类电子和汽车零部件。而主要的应用在搬运和组装。随着5G技术在未来5年内的普及和应用，3C仍然会是协作机器人的重要增长点。半导体行业，将成为协作机器人以及传统工业机器人的下一个增长点。半导体行业体量大，投资大，扶持政策力度大。而且半导体行业的很多工艺环节，适合协作机器人的应用。

半导体行业在部分的生产工艺上，由于工艺流程间隔大，操作员有时需要具有较好移动性的机器人辅助进行作业。此时导入协作机器人就能很好地对应这一需求。

2017年，UR、TM、大族等协作机器人品牌已经进军半导体行业，其中UR在半导体行业已经取得了不错的成绩。目前正在准备申请SEMI-S2认证。此外，在半导体行业中，除了协作机器人标准的应用以外，协作机器人已经开始逐渐应用在洁净室中。

应用案例图

以下为UR机器人在晶圆搬运中的应用，通过UR+AGV实现晶圆CASSTTE的无人搬运，灵活方便。

方案组成：UR10+AGV

方案优势：

（1） UR机器人每个关节都可以±360度旋转，超高的灵活度便于安装在任意角度的支架或平台上，满足不同方向抓取的需求。由于独特的模块化关节设计，UR机器人的工作空间是以基座为中心的球体，可以对应部署在任意方向的工位，大大增加了工作范围。

（2） UR机器人结合移动小车搭载自动构建地图导航特性，可实现大范围空间内的物料抓取和移动小车的物流传递。

（3） UR机器人的低功耗也延长了移动AGV的工作时间。UR5的典型功率只有150w，搭载常规移动小车一般一次充电可运行超过10小时。

（4） UR机器人通过TUV专门安全认证，结合移动小车距离／视觉检测，使运行期间安全得以保障。