「优傲机器人」UR机器人在晶圆搬运中的应用

发布时间:2020-09-25 09:38:18 点击数:16

行业背景

目前协作机器人的主要应用行业是消费类电子和汽车零部件。而主要的应用在搬运和组装。随着5G技术在未来5年内的普及和应用,3C仍然会是协作机器人的重要增长点。半导体行业,将成为协作机器人以及传统工业机器人的下一个增长点。半导体行业体量大,投资大,扶持政策力度大。而且半导体行业的很多工艺环节,适合协作机器人的应用。

半导体行业在部分的生产工艺上,由于工艺流程间隔大,操作员有时需要具有较好移动性的机器人辅助进行作业。此时导入协作机器人就能很好地对应这一需求。


2017年,UR、TM、大族等协作机器人品牌已经进军半导体行业,其中UR在半导体行业已经取得了不错的成绩。目前正在准备申请SEMI-S2认证。此外,在半导体行业中,除了协作机器人标准的应用以外,协作机器人已经开始逐渐应用在洁净室中。


应用案例图

以下为UR机器人在晶圆搬运中的应用,通过UR+AGV实现晶圆CASSTTE的无人搬运,灵活方便。


方案组成:UR10+AGV

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方案优势:

(1) UR机器人每个关节都可以±360度旋转,超高的灵活度便于安装在任意角度的支架或平台上,满足不同方向抓取的需求。由于独特的模块化关节设计,UR机器人的工作空间是以基座为中心的球体,可以对应部署在任意方向的工位,大大增加了工作范围。

(2) UR机器人结合移动小车搭载自动构建地图导航特性,可实现大范围空间内的物料抓取和移动小车的物流传递。

(3) UR机器人的低功耗也延长了移动AGV的工作时间。UR5的典型功率只有150w,搭载常规移动小车一般一次充电可运行超过10小时。

(4) UR机器人通过TUV专门安全认证,结合移动小车距离/视觉检测,使运行期间安全得以保障。


美好愿景

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